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简单介绍复合式净化工程

       复合式净化工程是将乱流式及层流式进行复合或并用,可提供局部洁净的空气。可以分三类:洁净隧道、洁净管道、并装局部洁净室。
       1、洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖,使洁净度等级增加至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔断,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
       复合式净化工程的洁净隧道另有二项优点:弹性扩充容易;维修设备时可在维修区轻易执行。
       2、洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔断,少量之送风就可以得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为较适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
       3、并装局部洁净室:将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级增加为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
       4、洁净工作棚
       洁净工作棚为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用单独的HEPA或ULPA及空调送风机组而成为洁净空间,其等级为10~1000级,长度在2.5米左右,覆盖面积约10平方米以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
       上述就是关于复合式净化工程的一些介绍。
2021/04/27 08:31:24 35 次