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谈谈净化工程中气压需符合的规定

       净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,该环境空间的设计施工过程。
       对于大部分洁净空间,为了避免外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。净化工程的压力差维持一般应符合以下原则:
       1、洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
       2、洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
       压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过净化工程室内各种缝隙时的阻力。
2022/11/10 14:06:19 267 次